YAMAMOTO山本镀金关于晶圆电镀实验设备的常见问题
关于晶圆电镀实验设备的常见问题
本页介绍了有关我们的晶圆电镀实验设备的常见问题。
关于规格
问：山本电镀测试仪的晶圆电镀实验设备的精确度如何？
A、在8英寸硫酸铜电镀膜厚分布实验中，我们发现膜厚变化小于±3-5%。有关电镀条件等实验细节，请参阅此处的技术信息。
我们的研发合作伙伴法国国家理工学院也发表了该研究结果。
Q. 你们可以加工特殊形状和材料的晶圆吗？
A. 标准产品按照JEITA和SEMI标准制造，但可以定制各种形状、材料和厚度的样品。我们的业绩记录不仅包括圆形和方形，还包括扇形和从圆形切割的半圆形。还可以用一个夹具处理多个样品。
问：如何为晶圆电镀的阴极盒制作电触点？
A. 这取决于夹具的类型，但标准产品在圆周上排列有多个接触点。我们还生产外周有接触点的定制类型和背面有接触点的类型。
如果您使用使用密封剂的封闭式夹具，则可以仅对电镀区域进行电镀。
各设备的作用
Q. 晶圆电镀实验设备是否可以使用没有微型过滤器的设备？
A. 我们的晶圆电镀实验设备具有溢流搅拌和夹具（阴极盒、阳极支架）相结合的结构。
迷你迷你过滤器除了过滤功能外，还具有调节温度和浓度分布的作用，所以我们建议一起使用。
Q. 我可以使用没有阳极支架的晶圆电镀实验设备吗？
A. 阳极支架还起到屏蔽板*的作用，以改善膜厚分布。是精密电镀所必需的。
*屏蔽板就像一个不导电的屏障，改变阳极或阴极上的电流分布，其作用是调整电流分布。
如何使用
问：我可以在一个槽中试验多种尺寸的晶圆吗？
A。任何小于水族箱标准的晶片尺寸都可以使用。在与原标准不同的水箱中进行电镀时，请使用符合水箱标准的夹具。
此外，不能使用大于水族箱标准的样本，因为它们不适合水族箱。
例1）可以在6英寸水箱中对4英寸样品进行电镀实验。
例2）无法在4英寸水箱中对6英寸样品进行电镀实验。
关于出口
Q. 晶圆电镀实验设备可以出口吗？
答：是的，我们有向各个国家的研究机构和制造商出口的记录。对于需要CE标志等认证的国家，我们采取以下措施。
〇请使用符合桨式搅拌装置安全标准IEC61010-1和EN61326-1
的型号（DU/DW型、内置噪音滤波器） 。
A-52-ST-P04D 桨式搅拌装置