晶圆电镀设备、摇摆设备
桨式搅拌装置（A-52-ST-P04D）
这是搅拌样品附近的装置，适用于2～8英寸尺寸的单面电镀。有两种：一种是单面电镀，一种是双面电镀。
12英寸版本将按订单生产。作为一个选项，可以安装 PVC 板来保护外壳。
特征
改善镀层沉积均匀性
桨有效地搅拌样品表面。扩散层的稳定提高了电镀沉积的均匀性。
向孔状样品主动供给离子
对于通孔、通孔、沟槽等孔形状的样品，通过搅拌向孔内部供给活性离子，可以抑制浓度过电压的上升，消除空隙等缺陷。
符合国际标准 符合
IEC61010-1，EU/DU型和EW/DW型有CE标志，也符合EN61326-1。
规格
| 尺寸 | 2英寸型 | 3.4英寸型 | 5.6英寸型 | 8寸型 |
|---|---|---|---|---|
| 产品编号 | A-52-ST2-P04E | A-52-ST4-P04D | A-52-ST6-P04D | A-52-ST8-P04D |
| 水平行程 | 30～50mm (*1) | 30～96毫米 | 30～150毫米 | |
| 外形尺寸（安装尺寸） | 210（深）×180（宽）×275（高）毫米 | 210（深）×180（宽）×290（高）毫米 | 290（深）×270（宽）×380（高）毫米 | 290（深）×270（宽）×470（高）毫米 |
| 体重 (*2) | E：6.0kg EU，EW：6.5kg | 深：6.0kg DU，DW：6.5kg | 深:12.9kg DU,DW:13.4kg | 深:13.4kg DU,DW:13.9kg |
| 转数 | 0~130转/分钟 | |||
| 输入电压（*2） | E：AC100-120V 欧盟：AC100-120V EW：AC200-240V | D：AC100-120V / DU：AC100-120V / DW：AC200-240V | ||
| 额定输出 | 30W | |||
(*1) 带附加部件时最长可达 96mm
(*2) 根据输入电压有 3 种类型：E/D 型、EU/DU 型和 EW/DW 型。